近日，中微公司臨港產業化基地啟用儀式在東方芯港舉行。市委常委，臨港新片區黨工委書記、管委會主任陳金山，市政協副主席肖貴玉出席活動。

中微公司臨港產業化基地啟用儀式

    2021年，中微正式啟動了中微臨港產業化基地、中微臨港總部和研發基地的建設。近日，中微臨港產業化基地項目正式投入使用，項目總投資16.7億元，占地157畝，總建筑面積約18萬平方米，配備行業領先的實驗室、業界高標準的潔凈室、先進的生產車間及智能化立體倉庫等設施，可實現生產全程數字化、智能化管理，為中微最大的生產制造基地。

    中微公司跨足半導體芯片前端制造、先進封裝、發光二極管生產、MEMS制造以及其他微觀制程的高端設備領域。中微公司的等離子體刻蝕設備和硅通孔刻蝕設備已被廣泛應用于國際一線客戶從65納米到5納米及更先進工藝的芯片加工制造及先進封裝，中微開發的用于LED和功率器件外延片生產的MOCVD設備也已在客戶生產線上投入量產，并在全球氮化鎵基LED MOCVD設備市場占據領先地位。

    中微半導體設備（上海）股份有限公司（簡稱“中微公司”）是一家以中國為基地、面向全球的微觀加工高端設備公司，為集成電路和泛半導體行業提供極具競爭力的高端設備和高品質的服務，是中國國內半導體設備的領先企業。公司總部位于上海，聚焦亞洲，并為全球的客戶提供技術和設備的解決方案。

    作為2019年首批科創板上市企業，截至2024年6月，中微公司累計申請專利已達2648項，已獲授權專利1670項，其中發明專利占比高達85.87%，目前累計已有超5000個反應臺在國內外130多條生產線實現量產和大規模重復性銷售。

    中微公司的客戶遍布中國大陸和中國臺灣、新加坡、韓國、德國、意大利等10多個國家和地區，在全球范圍內擁有2000多名員工，其中研發人員占比接近半數。

    中微公司累計榮獲百余項知名獎項，在美國TechInsights全球客戶滿意度調查中，中微公司連續多年排名位居前列。2023年，公司榮獲“上海市科技進步一等獎”，并還多次入選福布斯中國最具創新力企業50強榜單。此外，公司兩次榮獲“中國專利金獎”，多次榮獲“中國專利優秀獎”“上海市發明創造專利獎”和“上海市知識產權創新獎”等獎項。

    臨港產業化基地的啟用，將為中微各類設備生產提供強有力的產能保障，助力中微在全球集成電路設備市場進一步提升市場占有率。

中微公司臨港產業化基地

    今年是臨港新片區揭牌成立五周年，也是“東方芯港”啟動建設五周年。集成電路是臨港新片區“4+2+2”前沿產業體系的核心組成，涵蓋設計、制造、設備、核心材料、封裝等完整門類，是臨港投資規模最大、產業集聚度最高、產值增長最快的先導產業。集成電路產業規上產值從2019年的不到3億元到2024年即將突破200億元，用五年時間實現翻六番的增長奇跡。今年上半年，集成電路產業規上工業產值117.3億元，增速274.9%。從集成電路產業的細分領域來看，設備產業是鏈條最完善、生態最好的領域。臨港新片區已落地集成電路設備整機、零部件及關鍵耗材企業有80余家，已覆蓋涂膠顯影設備、光刻設備、刻蝕設備、薄膜沉積設備、離子注入設備、清洗設備、量檢測設備、后道封裝測試設備等環節，并延伸到閥門、腔體設備等核心零部件及掩膜版、密封件、靶材、拋光材料等關鍵耗材領域。