荷蘭Holst Center研究人員采用空間原子層沉積(sALD)技術,在薄膜晶體管(TFT)氧化物-TFT(IGZO)顯示器背板上同時創建半導體層和介電層。
研究人員在薄的PEN箔上創建了200 PPI的QVGA OLED顯示器原型。這展示了如何在廉價的透明塑料箔片上使用sALD在低溫工藝(低于200攝氏度)下生產TFT。TFT的遷移率達到8 cm2/V2,通道長度降至1μm。
sALD設備由Holst Center開發,并由從Holst衍生出來的初創公司SALDtech進行商業化。 SALDtech當前提供1代(320x250 mm)工具,目前正在開發生產設備。